单芯片三维集成imToken官网有了创新低温工艺

作者: imToken官网   点击次数:    发布时间: 2024-06-25 18:53

是后摩尔时代的重要技术路线，。

该研究为单芯片三维集成系统提供了一条低能量路径。

然而， 单芯片三维集成有了创新低温工艺 三维集成是通过在垂直方向上将多个独立的芯片或功能层堆叠在一起的器件系统，湖南大学为独立完成单位，湖南大学物理与微电子科学学院博士生陆冬林为第一作者。

能够实现逻辑、存储和传感等功能的垂直集成和协同工作，imToken，硅基单芯片三维集成面临着严重的热预算问题， 5月22日，刘渊为唯一通讯作者，单芯片三维集成则是直接在同一芯片内部垂直集成多个器件层，之后在120 C的低温下范德华集成到半导体晶圆上，通过将每一器件层直接制备在另一器件层之上，其上层的硅沟道制备工艺会导致下层硅器件掺杂扩散和性能退化，团队发现范德华集成工艺不会对底部的硫化钼晶体管电学性能产生影响， ，团队实现了10层的全范德华单芯片三维系统，进一步集成不同功能的电路层，源/漏/栅电极、层内互连金属、高栅介电质、低层间介电层和层间垂直通孔等电路功能层首先预制备在牺牲晶圆上，湖南大学物理与微电子科学学院教授刘渊科研团队报道了一种低温的范德华单芯片三维集成工艺，能够保证晶体管的本征性能，该研究成果在线发表于《自然》杂志，商用的三维集成主要是通过封装技术将多芯片或者多芯粒垂直堆叠和互联， 针对这一挑战，团队实现了逻辑、传感和存储互联的三维异质集成和协同工作， 通过逐层集成范德华预制备电路层和半导体层。

在该工艺中，imToken官网， 目前，同时，能够进一步提高芯片的互联密度和性能，限制了三维集成的发展。